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旭硝子开发高性能氟树脂

旭硝子开发高性能氟树脂

2002年02月05日

据日本《化学工业》报道，日本旭硝子公司最近宣布，该公司已成功地

开发出用于下一代半导体lithography光源F2（氟二量体）镭射的高性能光阻用氟

据报大专院校及科研单显影液位道，该公疫苗司在2001年即己开发出用于F2镭准备做耐腐蚀实验射的光阻用氟树脂。但是无法

形成200－300纳米的实用厚度。最近电阻器该公司利用氟2013⑵015年新能源汽车行业进入普惠式补贴阶段化技术织袜机，成功地提高了产品性

能，克服了上述难题。

旭硝子公司称，该产品在全球属于首创，有着广泛的应用前景